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黑科技從刷題開始_第173章 材料突破(1)

陳序掛了電話,掃了眼辦公室裡還在歡呼的工程師,抬手壓了壓:“你們先把模擬資料存好,我去樣品室看看測試情況。”

技術組組長愣了愣,跟著就站起身:“我跟你一起去?剛才模擬用的二維襯底就是王教授他們團隊送過來的,說不定他也在那邊盯著測試呢。”

“行。”陳序抓起桌上的工作終端,轉身往門口走。

走廊裡的燈還亮著,夜裡的研發區沒了白天的喧鬧,只有偶爾傳來的裝置運轉聲。陳序走得快,鞋底踩在光潔的地磚上發出輕響,技術組組長跟在他旁邊,嘴裡還唸叨著剛才模擬的引數,時不時低頭在筆記本上劃兩筆。

拐過兩個轉角就到了滬矽產業園區研發區樣品室,門虛掩著,裡面亮著冷白色的燈,還能聽見有人小聲說話的動靜。陳序推開門進去,就看見供應鏈協調員蹲在測試臺邊,面前擺著一排密封的試劑瓶,旁邊站著個穿白大褂的老頭,頭髮白了一半,正是王傳明。

“陳組長,你可來了。”供應鏈協調員聽見動靜抬頭,看見是他,立刻站起身,手裡還捏著張測試報告單,“你看這資料,換了三批樣品測都是偏移0.04個百分點,蝕刻劑的配比我們跟廠商核對了三遍,跟你給的引數完全對得上,就是不知道問題出在哪。”

王傳明也轉過頭,推了推鼻樑上的老花鏡,手裡還拿著個放大鏡,正對著一片襯底樣品看:“我剛才也在跟小周看這個,襯底的表面平整度沒問題,就是蝕刻劑一上去,邊緣就會出現細微的腐蝕不均勻,應該是分子鍵結合的時候出了問題。”

陳序走過去,先接過供應鏈協調員手裡的測試報告單,掃了眼上面的引數曲線,又低頭看了看測試臺上擺著的幾瓶蝕刻劑樣品,瓶身上貼著廠商的標籤,批號都是最新的。他指尖在報告單上偏移的那一段點了點,問王傳明:“襯底的摻雜比例是多少?跟我們之前送過去的小試配方是不是一致?”

“配方是按之前敲定的來的,硼元素摻雜比例0.03%,磷元素0.02%。”王傳明放下放大鏡,從旁邊的資料夾裡抽出一張配方表遞過來,“我們上個月小試的時候引數還全對,這次廠商批次送過來的襯底,我剛才測了下摻雜比例,比配方上多了0.005個百分點的硼。”

供應鏈協調員啊了一聲,趕緊湊過來看配方表:“不對啊,我跟廠商對接的時候反覆說了要嚴格按比例來,怎麼會多了?”

“正常,批次生產的時候,摻雜爐的溫區控制有點偏差就會出這種問題。”王傳明擺了擺手,“我們之前做5nm襯底的時候也遇到過,當時調整了下退火溫度就解決了,可這次是二維襯底,晶格結構跟矽基的不一樣,多出來的這點硼剛好讓襯底表面的晶格缺陷多了幾個百分點,蝕刻劑上去就會順著缺陷腐蝕,導致引數偏移。”

陳序接過配方表,跟工作終端裡存的測試資料比對了下,一如所料發現襯底的晶格缺陷率比之前小試的時候高了0.03個百分點,剛好跟引數偏移的數值對得上。他指尖敲了敲測試臺,抬頭問王傳明:“如果把摻雜比例調回標準值,再把退火溫度提高5攝氏度,能不能把晶格缺陷率壓下來?”

“理論上可以,不過得重新做小試。”王傳明點點頭,“我們實驗室現在就有裝置,要是現在開始調引數,天亮前就能出第一批樣品。”

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