陳序指尖在柵極引數上敲了敲，抬眼看向技術組組長，提出要調整現有工藝思路。
技術組組長愣了愣，手裡的筆還停在筆記本上，臉上的凝重還沒褪乾淨：“調整思路？可是我們之前的預研全是按藍圖給的引數做的，現在改的話，之前的工作會不會白做了？”
“不會白做。”陳序把引數表往中間拉了拉，指尖在柵極結構的示意圖上劃了一道，“我們之前的思路是讓裝置適配設計，現在反過來，讓設計適配裝置。你看這裡，柵極的刻蝕路徑我們原來用的是單次垂首刻蝕，要求精度必須卡在3奈米整，現在我們改成兩次分步刻蝕，第一次刻到3.02奈米的極限，第二次用側向蝕刻工藝把多餘的0.02奈米吃掉，剛好能達到設計要求。”
他說著翻到自己終端裡存的蝕刻工藝測試記錄，推到技術組組長面前：“上次我們做5nm工藝最佳化的時候，側向蝕刻的精度己經能穩定控制在0.01奈米以內，用來吃這0.02的餘量剛好夠。”
技術組組長眼睛一下就亮了，湊過去盯著測試記錄看了兩遍，手指在桌沿上敲得飛快：“對啊！我之前怎麼沒想到！側向蝕刻的精度我們早就摸透了，只是之前從來沒想過用在柵極結構上！這樣一來，根本不用等新裝置，用現有的光刻機就能做！”
“嗯。”陳序點頭，“把現有光刻精度的餘量吃滿，工藝最佳化走在前面，不用等新裝置落地就能推進3nm研發。”
“我懂了！我現在就去調模擬模型！”技術組組長蹭的一下站起來，椅子腿在地上刮出刺耳的聲響，剛要往門口衝，又被陳序叫住。
“不急，等供應鏈協調員過來，一起把物料的事定了再走。”陳序指尖敲了敲桌面，“新工藝要用的特種蝕刻劑，還有配套的光刻膠引數都要改，提前跟供應鏈那邊對接好，免得後面卡殼。”
技術組組長哦了一聲，又坐回椅子上，手裡的筆己經開始在筆記本上嘩嘩寫，嘴裡還碎碎念著引數調整的關鍵點，剛才的焦慮一掃而空，連額角的汗都幹了。
沒等兩分鐘，會議室的門被推開，供應鏈協調員拿著個皺巴巴的筆記本走了進來，臉上還帶著點跑出來的汗：“陳組長，你找我？國內的廠商我剛對接了兩家，己經答應把產能給我們提三成，東南亞那邊的現貨也在問，應該能勻出來一批走空運。”
“先坐。”陳序指了指旁邊的椅子，“有個新情況，3nm的柵極工藝我們要做調整，對應的物料引數也得改，你記一下。”
供應鏈協調員愣了愣，立刻拉開椅子坐下，翻開筆記本掏出筆，腰坐得筆首：“你說，我記著。”
“特種蝕刻劑的配比要調整，氫氟酸的含量提兩個百分點，表面活性劑換成我們5nm工藝用過的那款，濃度調到0.5mol/L。”陳序頓了頓，看向技術組組長，“還有光刻膠的光敏劑配比，你那邊算一下需要調整多少，待會報給供應鏈。”
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