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黑科技從刷題開始_第173章 材料突破(2)

過了大概半個小時,供應鏈協調員打完電話走回來,臉上的神色放鬆了不少:“廠商那邊說了,立刻停掉現有生產線,按我們新給的引數調整,明天中午之前就能出第一批調整後的襯底樣品。”

陳序嗯了一聲,沒抬頭,還在盯著螢幕看。

供應鏈協調員拉過旁邊的椅子坐下,喝了口桌上的礦泉水,長出了口氣:“剛才可給我嚇壞了,要是材料適配出問題,整個3nm專案的進度都得拖。還好王教授他們經驗足,一下就找到問題了。”

“王教授在材料領域摸了幾十年,這點問題難不住他。”陳序終於抬起頭,把終端上改好的引數清單發給供應鏈協調員,“你把這個新的引數表發給廠商,讓他們嚴格按這個來,摻雜比例的誤差不能超過0.001個百分點,退火溫度的誤差控制在正負1攝氏度以內。”

“好,我這就發。”供應鏈協調員接過引數表,立刻就往廠商的對接群裡發。

又過了三個多小時,天矇矇亮的時候,王傳明的電話打了過來,響動裡帶著掩不住的興奮:“陳組長,小試成了!調整後的襯底晶格缺陷率壓到了0.01%以下,跟蝕刻劑的適配測試做了五輪,引數一點偏移都沒有,全部達標!”

陳序騰地一下站起身:“真的?我現在過去看看。”

他掛了電話就往外走,剛好碰到趕過來的技術組組長,手裡拿著張打印出來的模擬報告,臉上也是笑:“陳組長,新版柵極結構的模擬結果出來了,用新的高k介質材料,漏電率比設計要求還低0.02個百分點,整個達標!”

“太好了。”陳序接過模擬報告掃了一眼,腳步沒停,“走,去王教授那邊看看襯底的測試資料。”

兩個人趕到王傳明的實驗室,就看見整個團隊的人都圍在測試臺邊,臉上都帶著笑。王傳明看見他們進來,當即遞過來一疊測試報告:“你看,這是五輪測試的全部資料,襯底的各項引數全符合要求,跟蝕刻劑、高k介質的適配性也全部達標,沒有任何難處。”

陳序一頁一頁翻著測試報告,上面的曲線一條條都平平穩穩,剛好卡在設計要求的閾值裡。他翻到最後一頁,抬起頭,看向圍在旁邊的所有人,笑了笑:“襯底和介質材料雙雙達標,3nm工藝的第一道坎算是跨過去了。”

實驗室裡瞬間爆發出一陣歡呼,幾個年輕的助理激動得互相拍肩膀,王傳明也笑得合不攏嘴,揉了揉熬得通紅的眼睛:“總算沒白費這幾個月的功夫。”

技術組組長拿著模擬報告湊過來:“陳組長,你看,柵極結構的模擬也全過了,現在材料都齊了,是不是可以啟動流片測試的準備工作了?”

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