華真科技的團隊比預期來得更快。
楊波總工親自帶隊,五名核心工程師,拎著沉重的筆記型電腦和塞滿圖紙的行李箱,在次日傍晚就趕到了燧人科技。沒有寒暄,直接在會議室裡攤開了初步設計方案。
楊波五十歲上下,頭髮花白,戴著一副厚厚的眼鏡,手指關節粗大,說話帶著明顯的江浙口音,但語速快且精準:“陸總,林總監,感謝信任。時間緊,客套話省了。這是我們基於林總監提供的工藝需求,趕出來的概念設計。”
投影幕布上出現複雜的裝置三維圖。“傳統磁控濺射,靶材固定,基片旋轉或平移。你們要的,是多元素共沉積且梯度可程式設計。我們提出的方案是:雙旋轉靶柱配合智慧遮蔽系統。”
他切換畫面,兩個巨大的柱狀靶材示意圖出現,表面分割成不同的材料區域。“柱狀靶可以自轉,同時整體還能公轉。配合精密設計的可移動物理遮板,透過控制遮板開口位置、大小以及靶柱的旋轉速度,理論上可以在基片表面實現任意預設的元素濃度梯度分佈。”
林海眼睛一亮:“像印表機控制墨量一樣控制元素沉積?”
“對!”楊波難得露出一絲興奮,“但難點在於:第一,超高真空環境下,旋轉動密封的可靠性,不能漏氣,不能引入汙染。第二,遮板的運動精度和速度,必須與工藝腔體內的等離子體分佈、氣壓、溫度場即時耦合控制,演算法極其複雜。第三,多靶材長時間執行下的冷卻和靶面侵蝕均勻性控制。”
“這些難點,有解決方案嗎?”張明遠推了推眼鏡,問到了關鍵。
“有思路,沒在這麼複雜的系統上驗證過。”楊波很誠實,“旋轉密封,我們借鑑航天級的磁流體密封技術,但需要根據我們的尺寸和工況重新設計。運動控制,我們和浙大控制繫有合作,他們的即時非線性控制演算法在國內是頂尖的,但需要你們的工藝資料來訓練和最佳化模型。冷卻和侵蝕……需要大量的模擬和後續的現場除錯迭代。”
他看向陸晨和林海,目光坦誠而熾熱:“這就是賭博。賭我們的基礎技術能經得起放大和複雜化,賭你們的工藝團隊能和我們一起,在除錯中把裝置‘磨’出來。我們華真願意把所有技術家底拿出來拼,但需要你們同樣毫無保留的工藝知識輸入,以及……容忍前期必然的失敗和反覆。”
陸晨沒有直接回答,看向林海:“林海,你怎麼看這個方案?”
林海已經盯著圖紙看了很久,手指在桌面上無意識地划著軌跡。“楊總,雙旋轉靶加智慧遮板……這個思路比克林格那臺固定多靶位的裝置更靈活,理論上限更高。但複雜度也高了一個數量級。一百天出樣機……你們真的能搞定所有機械加工和總裝?”
“機械部分,我們已經聯絡了國內最好的精密加工廠,有些關鍵部件,我們所長親自去協調了。”楊波語氣堅決,“圖紙今晚最終確認,明天就下料。並行作業。我們拼的是,設計、加工、採購、預裝、軟體,五條線同時跑。你們的人,必須從設計評審階段就介入,特別是工藝介面和控制系統邏輯。”
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