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開局閃婚班主任,天降千億資產_第120章 1nm光刻機首測成功,震撼全場!(2)

眾人凝神屏息,面露緊張之色。

蘇雲杉平靜地釋出指令:“開始上機前自檢,執行S1全鏈路校驗。”

唰——

終端介面瞬間重新整理海量資料流,整機光源系統、七組超高精度反射鏡組、雙工件臺、精密對焦系統、光路校準模組同步啟動自檢。

螢幕上,光路偏差、鏡面面形誤差、工件臺定位引數、真空潔淨度、雷射光斑均勻性等上百項核心指標,逐條跳轉為綠色合格狀態。

蘇雲杉繼續下達指令:“載入1nm標準SRAM光刻版圖,啟動光源預激發,功率拉至320W穩態。”

嗡——

裝置內部傳出一陣極其低沉、穩定、細膩的機械共振聲,沒有劇烈震動,沒有刺眼光亮,極致精密的工業裝置,運轉起來只有近乎細微的低頻嗡鳴。

咚咚…咚咚…咚咚……

皇甫君心跳加速,緊盯腔體內部。

只見13.5nm極紫外高能等離子光源瞬間起弧,經過多層高精度光學鏡組,多次反射、收斂、勻化,一束極窄的EUV光束,沿著超長真空光路貫穿整機,精準投射至晶圓表面。

嘖嘖嘖……

安若素心中暗歎:好科幻的樣子…這玩意兒是我老公造出來的?他怕不是個外星人吧……

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