全員換上無塵工作服，經過三道安檢進入偌大的實驗室。

見到一臺龐然大物，市委書記、市長、副市長等市領導同時愣住，安若素也是睫毛一顫。

安若素平時很少來鵬城大學，只有週末過來找老公，並未見過光刻機成品，此時指著大型裝置激動道：“老公…這…這就是你研發的光刻機嗎？”

“對。”

蘇雲杉向市領導介紹：“各位領導，這就是由皇甫集團和鵬城大學聯合研製的High NA EUV光刻機，機身尺寸10米x5米x4米，整機重量約150噸，按照設計要求，可以量產1nm及以上製程晶片，實驗室可試產0.5nm晶片。”

譁——

全場領導大驚！

看著光刻機怔怔出神。

皇甫君昨晚來過，見過總裝整機，此時再見，依然覺得震撼，光刻機通體啞光銀灰，輪廓方正厚重，如同集裝箱穩穩地紮在環氧地坪上。

蘇雲杉走近介紹：“這臺裝置是國內首臺數值孔徑0.55的High NA極紫外光刻機，相較於國外傳統0.33NA EUV光刻機，可大幅提升解析度，列印8nm密集線條，突破晶片製造密度記錄，這也是它能夠突破1nm製程壁壘的核心關鍵。”

皇甫君母女三人、市領導、校領導跟在他身後，近距離觀摩，更能首觀地感受到它的精密和磅礴。

蘇雲杉摸著冰涼的機身繼續介紹——

“整機採用一體化真空密封艙體設計，外殼是特製航空級碳化矽材質，抗形變、耐高溫、耐腐蝕，表面啞光塗層經過百級無塵拋光處理，不沾微塵、極致平整，杜絕任何細微光線散射干擾。”

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