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讓你攻略校花,你卻要當科技教父_第369章 多重曝光技術(2)

“各位,其他話我也就不說了,首接進入主題。”

“目前全球半導體的客觀現實擺在這裡,ASML的EUV光刻機目前仍處於實驗室階段,即便幾年後正式商用,我們也絕難拿到最新版本,所以我們必須把DUV光刻機的物理極限徹底榨乾。”

“現在不管是英特爾還是臺電,工藝上都是使用193nm浸沒式DUV,這說明我們和世界巨頭用的是同一個世代的工具,中芯與他們的差距不在裝置,而在核心的工藝設計能力。”

說罷,許浪朝著站在一側的林溪微微示意。

林溪會意,抬手划動平板,很快一份特殊的技術資料就被投影到了背後的大螢幕上。

在座的半導體大佬們整齊劃一地轉過頭,視線全部鎖定在了大螢幕上出現的幾行大字上。

“自對準多重曝光技術路線圖”。

許浪看著眾人,快速並且清晰地解釋著。

“193nm DUV光刻機的單次曝光解析度極限大約在38到40nm,如果要做更微縮的電晶體線條,就必須把單層電路拆成兩次甚至三次來曝光和刻蝕。”

“臺電的28nm主要依靠雙重曝光工藝,而英特爾的22nm則是嘗試三重曝光外加自對準雙重圖形,而中芯如果想要在這條賽道上完成代差超越,就必須跳過雙重曝光的繁瑣過渡,首接一步到位攻克自對準多重曝光的工藝方案。”

“根據我的測算,只要我們徹底吃透這套自對準多重曝光工藝,中芯就能用現有的DUV裝置,做出逼近14nm甚至10nm的電晶體圖形密度,在極限挖潛下,甚至能摸到7nm甚至5nm的製程節點。”

會議室內眾人此時都不時地相互看向旁邊的企業負責人,顯然腦海裡有著無數的問題,但還是忍住了,繼續聽著許浪的講解。

許浪看著眾人,見都在認真地聽著,也就繼續開始講解。

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