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國運:從廢土遺民到星際文明_第84章 戰備總動員:全員投入(2)

孫建國接過雷射器,小心翼翼地安裝在光路入口。又是一輪精密的調整——雷射光斑要對準掩模臺的中心,偏差不超過1微米。

又過了西個小時,光源系統安裝完成。

“塗膠顯影單元。”

“蝕刻單元。”

“工作臺。”

“控制系統。”

一個接一個,孫建國像拼積木一樣把光刻機組裝起來。他七十二歲了,手指己經不像年輕時那麼靈活,但每一個動作都穩得像機械臂。

第十天,光刻機組裝完成。

他站在機器前,按下啟動按鈕。

嗡——

光源點亮,193奈米的深紫外雷射穿過掩模,經過物鏡組的縮小,投射在塗了光刻膠的矽片上。工作臺以奈米級的精度移動,把晶片的電路圖案一幀一幀地刻畫在矽片上。

三十秒後,光刻完成。

孫建國取出矽片,放進蝕刻槽。酸性溶液腐蝕掉被雷射照射過的光刻膠,露出下面的矽基底。然後又是沉積、拋光、清洗……二十道工序,每一道都不能出錯。

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