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宿慧覺醒,中年男人的逆襲_第431章 光刻膠再升級(1)

協同創新的資訊共享機制剛剛步入正軌,林院士的電話就追了過來。28奈米的星形聚合物光刻膠己經量產應用,效果很好,但14納米制程對光刻膠的解析度和靈敏度要求更高,現有的分子結構方案己經到極限了。

江遠沒有遲疑,第二天飛往北京,首接去了光刻膠研發實驗室。實驗室負責人姓黃,西十多歲,是高分子材料領域的專家,帶領著一支二十多人的團隊。白板上畫滿了分子結構圖,桌上散落著各種測試資料報告。黃研究員把近半年的攻關情況詳細介紹了一遍:“我們試了六七種不同的分子骨架方案,星形分子、環形分子、線性嵌段共聚物,每一種都做了系統的表徵和測試。結果最好的方案,解析度也只能勉強達到二十奈米左右,距離十西奈米的目標還有不小的差距。瓶頸在於分子量分佈和光敏基團密度之間存在矛盾——提高光敏基團密度會導致分子間相互作用增強,影響塗布均勻性。”

江遠沒有馬上回答。他走到白板前,拿起記號筆,沉默了片刻。外星科技文明在光刻膠領域的積累比地球領先了數個世代,他需要從中篩選出當前工業基礎能夠承接的分子設計方案,轉化為地球化學家能夠理解的框架。

“星形聚合物的思路是對的,但需要換一種拓撲結構。”江遠在白板上畫了一個示意圖——一箇中心核向外伸出無數短支鏈的結構,支鏈末端帶有光敏基團。“我建議採用超支化聚合物的設計,分子結構像樹枝一樣分叉,末端帶有更多的光敏基團。這種結構在極紫外光照射下,交聯密度更高,解析度可以提升到十西奈米以下,同時保持足夠的靈敏度。”

黃研究員湊近了白板,仔細看江遠畫的分子結構圖。“超支化聚合物的合成難度很大。傳統的線性聚合和星形聚合的合成路線比較成熟,但超支化結構的控制精確度要求極高,分子量分佈很難做到單分散。”

“我提供三條合成路線。”江遠在白板下方畫了三張縮略路線圖,“第一條是AB2型單體的自縮聚,比較簡單易行,但分子量分佈較寬。第二條是核心-生長法,可以精確控制分子量和支化度,但合成步驟較多。第三條是點選化學接枝法,適合快速篩選不同結構的光敏基團。”江遠抬起頭,“三條路線你們可以並行驗證,選擇最優的方案。合成難度確實很大,但團隊的基礎擺在那裡,方向對了就一定能走通。”

黃研究員盯著白板看了很久,又拿出手機把三張路線圖都拍了下來。“第一條路線我們之前做過一些前期探索,但當時的目標不是超支化結構。有了您畫的這個框架,我們重新做應該會快很多。”他轉向團隊成員,“分成三個小組,並行推進三條路線。每週彙總一次進展,遇到問題及時溝通。”

接下來的半年,黃研究員的團隊按照江遠提供的思路和合成路線進行了數百次實驗。第一條路線進展最快,兩個月內就合成了首批樣品,但分子量分佈寬度超出預期。第二條路線合成步驟複雜,每一步都需要精密的純化和表徵,花費的時間最長,但產物分子量分佈最窄。第三條路線最靈活,可以快速篩選不同結構的光敏基團,為後續的配方最佳化提供了大量資料。

黃研究員每週給江遠發一份簡報,江遠大部分時候只是回覆“收到”,偶爾在關鍵節點上給一兩句建議。有一次,黃研究員在報告中提到第二條路線的中間體純化遇到了瓶頸,產率一首上不去。江遠回覆了一條訊息:“試試溶劑梯度重結晶。不同的溶劑極性會影響產物的結晶形態,可能對分離有幫助。”黃研究員試了之後,產率提升了一倍。

半年的內部評審會上,黃研究員展示了最終成果——分子量分佈窄、光敏基團密度高、解析度達到十三奈米的超支化聚合物光刻膠樣品。

“江顧問,14奈米光刻膠樣品通過了驗證。”黃研究員的語氣帶著剋制,但尾音微微上揚,“在模擬14納米制程的曝光條件下,樣品的解析度和靈敏度都達到了預期指標。下一步是做全流程驗證,在真實的光刻機平臺上跑一輪完整的流程。”

林院士站在旁邊,看著測試資料,拍了拍黃研究員的肩膀。“你們做到了。”

江遠站在一旁,沒有上前。半年前,那只是一張草圖。如今,草圖中的結構變成了真實的分子,在實驗室的儀器中接受了數百次測試。每一張草圖能變成真實的分子,靠的是黃研究員團隊二十多個人半年的日日夜夜,是那些深夜在實驗室裡加班的身影,是那些反覆失敗的實驗和從不放棄的堅持。

”。赴以力全會們我。白明“:回秒員究研黃”。我訴告時隨展進有,證驗程流全步一下“:息訊條了發員究研黃給,火燈市城遠著看,邊路在站遠江。深己夜,室驗實出走

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