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被趕出家門,我轉身為國造航母_第097章 納米級的禁區!工件台上的絕望!(1)

“到底出什麼事了?”

沈徹快步趕到一號會議室門口,正遇上同樣聞訊而來的,幾位負責材料和精密儀器的老院士。

他們的臉上,無一不是焦灼和凝重的神色。

“是工件臺!”

其中一位頭髮花白的李院士,看到沈徹,也顧不上寒暄,一邊小跑著,一邊用急促的聲音解釋道。

“EUV光源解決了,但我們都忽略了另一個,同樣致命的問題!”

“光刻機的工件臺!”

沈徹的腳步一頓。

作為“燈塔”計劃的安全總負責人,他對整個專案的流程和技術難點,都有著相當程度的瞭解。

他知道,工件臺,是承載著矽晶圓,在光刻過程中進行超高精度運動的平臺。

它的精度,首接決定了晶片上能夠蝕刻出的,最精細的電路尺寸!

“工件臺的精度要求,達到了前所未有的2奈米!”

李院士的聲音裡,帶著一絲絕望。

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