那臺巨大的機器內部，多了幾雙銳利的“眼睛”。

“通電。”林向陽下達了指令。

“通電！”王博按下主控臺的紅色按鈕。

“嗡——”

低沉的電流聲響起，那是伺服電機預勵磁的聲音。緊接著，兩束紅色的雷射從干涉儀的發射頭射出，經過複雜的稜鏡折射，精準地打在工件臺的反射鏡上，形成了一個完美的閉環迴路。

螢幕亮起。

原本滿屏紅色的“Position Error”（位置錯誤）警報瞬間消失，取而代之的是一行行綠色的跳動資料。

“位置反饋訊號鎖定。”操作員的聲音因為激動而變得尖銳，“X軸解析度……0.1奈米！Y軸解析度……0.1奈米！”

“啟動雙臺同步測試。”林向陽死死盯著主螢幕中央的那條曲線，“目標速度500/s，掃描模式。”

巨大的工件臺開始移動。

不像之前那樣磕磕絆絆，這一次，它像是在冰面上滑行一樣絲滑。兩個工件臺在高速運動中交錯、換位，彷彿兩名默契的舞者。

所有人的目光都集中在那個名為“”（ving Average，移動平均誤差）和“D”（ving Standard Deviation，移動標準差）的資料上。

這是衡量光刻機精度的生死線。如果要實現90奈米乃至更高階的製程，這兩個工件臺在高速運動中的同步誤差必須被壓制在極小的範圍內。之前的國產替代方案，誤差高達幾百奈米，根本無法使用。

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