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星淵中的月輝_第83章 nm光刻機(2)

* 突破: 經過成千上萬次的實驗,他們終於找到了一種光刻膠和工藝組合,能夠在198n光下,清晰地顯影出0.18微米(180奈米) 的細線條!雖然線寬粗糙度(LWR)還很大,但這證明了路走通了!

當“弒神”光源、“洞察之眼”鏡頭和“微影之握”工藝逐漸成熟,將它們整合成一臺全新的、龐雜而精密的機器,成為了最後的挑戰。

在“龍脊”工業園一座新建的、抗震、恆溫恆溼、潔淨度達到10級(每立方英尺內粒徑≥0.5μ塵埃粒子少於10個) 的超淨車間內,華盟的第一臺198n進掃描投影光刻機——“燭龍-II型” ,完成了最後的總裝和除錯。

它比“燭龍-I型”龐大得多,結構也複雜得多。巨大的雷射器單元被安置在角落,透過複雜的光路系統將雷射引導至掩模版和鏡頭。精密工件臺在磁懸浮導軌上高速且平穩地運動。整個系統被包裹在金屬外殼內,充滿了未來科技感。

首次流片(試生產)日。

矽魂推了推空氣眼鏡,手指微微顫抖地按下了啟動按鈕。雷射器發出低沉的嗡鳴,光路接通,工件臺開始精準移動。所有人都屏息凝神,透過觀察窗看著內部那肉眼不可見的、在矽片上雕刻微觀世界的宏大過程。

幾個小時後,第一片晶圓完成了所有工序。它被迅速送入檢測室,放在一臺同樣剛剛攻關完成的、更高倍的掃描電子顯微鏡(SE 下。

當影像清晰地顯示在螢幕上時,整個監控室鴉雀無聲,隨後爆發出難以置信的歡呼!

螢幕上,清晰地排列著線寬僅為0.18微米(180奈米) 的電晶體柵極!線條清晰,邊緣銳利,均勻性遠超“燭龍-I”的產物!

“成功了!我們做到了!198n0.18微米!”矽魂激動得聲音嘶啞,幾乎要跳起來。

老李用力拍著矽魂的肩膀:“好小子!真有你的!這玩意比造火箭發動機還精細!”

山貓看著那微觀影像,冷靜地評價:“這意味我們的計算裝置效能將提升一個數量級,加密、控制、通訊能力將全面飛躍。”

金算盤已經開始飛速計算:“良品率!初步估計有35%!雖然還是低,但比之前的15%好太多了!成本可以大幅下降!”

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