海因茨·穆勒是那種典型的德國工程師:五十歲出頭,灰藍色眼睛藏在無框眼鏡後面,表情不多,襯衫袖口永遠整齊地捲到肘部。當他在浦東機場被燧人科技的接待人員接上車時,除了必要的寒暄,大部分時間都在觀察車窗外的道路、高架橋的鋼結構,以及遠處工地上塔吊的運轉平穩度。
“你們的基建速度,令人印象深刻。”這是他抵達燧人蘇州研發中心,見到沈南星和林海後說的第一句實質性評價,語氣平淡,聽不出是褒是貶。
“謝謝。我們相信,硬體環境是研發的基礎保障之一。”沈南星微笑回應,引他前往提前準備好的訪客區域。
觀摩流程嚴格而周到。穆勒的許可權被限定在一條預設的參觀路線:經過消塵處理的走廊、隔著觀察窗觀看“華真一號”工作艙(艙內正進行非核心工藝的演示性沉積)、然後是專為這次驗證準備的工藝除錯區。他的隨身電子裝置在進入核心區前已被要求存入保密櫃,代之以燧人提供的、功能受限的平板,用於檢視部分脫敏的工藝檔案。
除錯區內,一臺經過特別準備的中試裝置已經就位。旁邊的工作臺上,整齊擺放著用於模擬葉片基材的合金試片、預處理工具,以及封裝好的改性YSZ粉末靶材。兩名工藝工程師穿著潔淨服,正在做最後的裝置狀態確認。
“穆勒先生,按照約定,今天我們將完整演示針對貴方A方案的塗層沉積過程。”林海擔任技術講解,“從基片預處理、裝夾、腔室抽真空與加熱、到多道次沉積與後續緩冷。所有工藝引數將即時顯示在那邊的大螢幕上,您可以隨時提問。我們的工程師會解答不涉及核心機理的部分。”
穆勒點了點頭,目光銳利地掃過裝置的每一個介面、氣路管線的佈置、真空計和熱偶的校準標籤。他拿出一個厚厚的筆記本和一支鉛筆——這是他被允許帶入的少數個人物品之一。
過程開始。一切按部就班,嚴謹到近乎刻板。裝置運轉的嗡鳴聲、真空泵有節奏的抽氣聲、控制電腦螢幕上跳動的引數曲線,構成了一首工業交響曲。穆勒看得非常仔細,不時在筆記本上記錄著什麼,偶爾會要求暫停,湊近觀察窗檢視等離子體輝光的顏色均勻性,或者詢問某個壓力引數設定的依據。
他的問題都很專業,直指工藝控制的關鍵點:“沉積初始階段的基底溫度梯度控制策略?”“監測等離子體發射光譜用於即時反饋的可行性?”“兩次沉積之間介面暴露時間與汙染風險的控制?”
林海和當值的工藝工程師一一作答,答案基於公開的塗層物理原理和燧人自身的工藝經驗,既展示了專業性,又巧妙規避了最敏感的核心演算法與材料配方細節。
演示進行到三分之二時,一個微小意外發生了。用於維持腔室潔淨度的某一路高純氬氣,其質量流量計讀數出現了一個短暫且微小的跳動,雖然很快恢復正常,且並未觸發裝置報警(因為波動在允許公差內),但一直在緊盯螢幕的穆勒立刻捕捉到了。
“剛才的Ar-2流量有異常。”他指向螢幕。
工藝工程師迅速調出該路氣體的詳細歷史曲線,確認了波動。“是的,一個約0.5秒的微小脈動,可能源於上游管路的瞬時壓力變化或感測器自身噪聲。根據我們的模型和大量實驗,這個幅度的瞬時波動,在當前工藝階段,對塗層形成的影響可以忽略不計。”
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