等離子體清洗實驗被安排在小型材料處理實驗室進行。那臺機器原本用於清潔矽片表面的有機沾汙，功率不大，腔體也小，勉強能放進一片四英寸的碳化矽襯底。
林海對陸晨這個“野路子”想法最初持保留態度。“等離子體清洗對去除表面吸附物和弱氧化層有效，但碳化矽襯底在進入生長爐前，已經經過嚴格的高溫氫刻蝕，表面應該是清潔的。而且，等離子體可能會引入新的表面損傷或電荷積累。”
“我們不做任何假設。”陸晨站在機器前，看著操作手冊上的引數範圍，“標準流程走完了，結果卡在瓶頸。我們需要探索‘非標準’的可能性。系統…我們的理論模擬提示，介面缺陷可能不只是來自緩衝層本身，襯底表面極微量的、氫刻蝕也無法完全去除的特定態雜質，或者表面能的不均勻，可能是誘因之一。等離子體，特別是特定氣體配比的等離子體，可能改變最表面幾個原子層的化學狀態和能量分佈。”
他將系統的提示，轉化為基於材料表面科學的合理推測。
“那就試試看。”林海被說服了，技術人員的探索欲被點燃，“我們選氬氫混合氣體，比例可以調，偏壓和功率也作為變數。但怎麼評估效果？直接上生長爐週期太長了。”
“用原子力顯微鏡（AF和X射線光電子能譜（XPS）。”陸晨早有思路，“清洗前後，測表面粗糙度和化學成分變化。更關鍵的是，我們可以嘗試在清洗後的襯底上，先沉積一層極薄的、幾個奈米厚的石墨烯緩衝層，然後用高分辨透射電鏡（HRTE看初始成核介面的情況。如果等離子體處理真的改善了介面，應該在最初的成核階段就能觀察到差異。”
這是一個巧妙的設計，將漫長的晶體生長評估，前置到最初的介面形成時刻來觀察，大幅縮短實驗週期。
實驗立即啟動。他們準備了六片來自同一批次、經過標準氫刻蝕的碳化矽襯底，分為三組：一組作為對照，一組進行常規氬等離子體清洗，一組進行氬氫混合等離子體清洗，並細分為不同引數。
AFXPS的結果首先出來。常規氬等離子體處理後，表面粗糙度略有增加，顯示了一定的物理濺射效應。而特定比例的氬氫混合等離子體處理後，表面氧含量檢測值進一步降低，同時碳化矽表面的碳矽比出現了微妙的、趨向化學計量比的變化。
“氫自由基可能還原了表面極微量的氧化矽，並鈍化了一些懸空鍵。”張明遠在檢視資料後分析，“這個表面狀態，理論上可能更有利於石墨烯的平整外延。”
關鍵的HRTE品製備需要時間。但初步的表面分析結果，已經給了團隊一絲微光——這條路，或許真的值得深挖。
協議轉換閘道器的開發，成了軟體工程師小陳的“高光時刻”。這個入職不到兩年的年輕人，憑著對硬體通訊的痴迷和一股不服輸的勁頭，泡在實驗室裡三天，幾乎沒怎麼閤眼。
林海給他配了兩個助手，主要負責硬體搭建和測試。小陳則埋頭鑽研兩份厚厚的通訊協議文件，一行行程式碼在螢幕上流淌。
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