但還有一個問題:
蝕刻形成的通道入口和出口,尺寸有微小偏差。
因為蝕刻是各向同性的,入口處會有輕微的倒角,導致實際孔徑略大於設計值。
雖然誤差只有幾微米,但對於冷卻劑流動來說,這會影響流量分配,進而影響冷卻效果。
需要一種微米級的修整手段。
溫卿想到了雷射。
基地有一臺老式的紅寶石雷射器,原本用於材料打標,功率只有10瓦,聚焦光斑直徑約0.1毫米——對於50微米的孔來說,還是太大了。
但她發現了一個現象:
當雷射以極短的脈衝工作時,材料不是熔化,而是直接氣化,而且氣化區域非常侷限,幾乎不產生熱影響區。
“如果我們能讓雷射束旋轉,”溫卿提出一個新思路。
“讓光斑在孔邊緣快速掃描,就可以一點點修整孔徑,而不損傷孔的內部結構。”
她設計了一個簡單的旋轉光學系統:
一個高速旋轉的稜鏡,將雷射束偏轉成一個旋轉的錐形掃描。
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前夫後悔不已,糾纏不清,一聲“婉婉”喊得真心切。
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