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七零空間大佬:家屬院搞科技強國_第329章 第一次流片(1)

九月中的上海,空氣裡還殘留著夏末的溽熱。“華晶電子”那座嶄新的1.5微米工藝線潔淨廠房內,卻保持著恆定的溫度和溼度,空氣經過層層過濾,幾乎一塵不染。

王磊穿著全套無塵服,透過觀察窗,看著產線上機械臂精準地移動、光刻機發出幽藍的光、各種化學溶液在管道中無聲流淌。這裡是晶片誕生的地方,是將設計圖紙變為物理實體的魔法之地。今天,這個魔法將第一次作用於完全由中國人自主設計、並使用自主EDA工具完成的晶片上——那款抗輻射儲存器控制器。

流片(Tape-out)過程本身,對於“華晶電子”的工程師們而言,已是例行公事。但今天的氛圍卻有些不同尋常。研究院的吳思遠、王磊,航天使用者方的代表,甚至電子工業部的一位司長,都遠端或現場關注著。

“資料已經全部匯入,光刻掩模版檢查無誤,工藝配方就位。”產線主管向現場總控彙報,聲音透過內部通訊系統清晰地傳出來,“可以開始首層光刻。”

“開始。”總控下達指令。

巨大的光刻機開始工作,將設計圖形轉移到塗有光刻膠的矽片上。這一步,至關重要。任何設計資料與工藝引數的微小不匹配,都可能導致圖形畸變或缺失。

王磊的心提到了嗓子眼。雖然“華芯”工具在匯出製造資料(GDSII)前,已經按照“華晶電子”提供的設計規則檢查(DRC)檔案進行了反覆驗證,但畢竟是第一次實際流片,誰也不敢保證萬無一失。

一層,兩層,三層……光刻、刻蝕、離子注入、薄膜沉積,複雜的工序一步步推進。每個關鍵步驟後,都有線上檢測和抽檢。時間在緊張而有序的流程中一點點流逝。

第一天,進展順利。第二天下午,在完成某個關鍵金屬互連層的光刻後,線上檢測系統發出了警報——該層圖形的線寬均勻性出現異常,部分割槽域偏窄。

現場氣氛驟然緊張。立刻暫停流程,對問題矽片進行離線詳細檢測,同時檢查光刻機引數和掩模版。

“不是裝置問題,也不是掩模版問題。”工藝工程師很快判斷,“可能是設計圖形在這個區域的密度和排布,與我們工藝的區域性負載效應模型有細微偏差,導致刻蝕速率不均勻。”

問題指向了設計資料與工藝模型的匹配度。這正是國產生態最薄弱的環節之一——“華晶電子”的工藝模型還在完善中,可能存在未被充分認知的邊界情況。

“能不能透過微調工藝引數補償?”使用者方代表焦急地問,型號進度耽誤不起。

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