地面上的工作同樣精密。

幾十名工人正蹲在地上，用雷射水準儀和特製的手持打磨機，處理混凝土地面。

未來的潔淨區地面，將是水磨石或環氧樹脂塗層，要求平整度極高，不能有任何裂縫、坑窪和起塵點。

“這裡的要求是±0.1毫米/2米。”一名技術員指著手裡的圖紙對工人說，“現在是±0.15，還得再磨。”

工人點點頭，關掉打磨機，換上一片更細的砂輪，重新開始。

打磨機發出低沉的嗡鳴，混凝土粉塵被吸塵器及時吸走。

工人蹲在那裡，一下一下，動作穩定而耐心。

在潔淨區外圍，可以看到一個個澆築好的獨立混凝土基座。

這些基座比周圍地面高出約三十公分，表面打磨得光滑如鏡。

有些基座下面，已經預埋了巨大的彈簧隔振器，那是為光刻機、電子束曝光機等對微振動極其敏感的裝置準備的。

每個基座旁都立著一塊牌子，上面用紅漆寫著：

裝置：GCA 4800DSW（光刻機）

荷載：12.5噸

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