顧贇激動地站起來：“我這就寫報告，向所領導申請立項！不，我直接去找所長，今天下午就開協調會！”

這時，呂辰想起一件事：“關於溫度控制……我們紅星所正在研發‘紅外測溫’技術，可以非接觸式測量物體表面溫度，精度很高，響應速度快。”

他頓了頓，語氣變得謹慎：“但這項技術，目前還處於保密階段，主要面向國防和重點工業應用。”

顧贇立刻明白：“我懂。我會以真空所名義，正式向紅星所提出技術協作申請，走正規渠道，報上級批准。如果‘紅外測溫’能用到我們的沉積系統上，實現線上監測基片表面真實溫度，那將是革命性的進步！”

會議氣氛熱烈起來，三方人員圍在黑板前，你一言我一語，討論技術細節、分工方案、時間節點。

呂辰看著這些眼睛發亮的研究人員，心中感慨。

他們此刻討論的，還只是一些簡陋的輔助裝置、粗糙的資料採集系統。

但在未來，這些嘗試將催生出中國的第一代半導體工藝裝置，從手動控制的CVD爐，到半自動的澱積系統，再到完全計算機控制的叢集式薄膜生長裝置。

從“老師傅的手感”到“工藝規範資料庫”，從“觀察浮子”到“質量流量控制”，從“估計厚度”到“線上膜厚監測”——這條路漫長而艱難，但今天，就在這間簡陋的會議室裡，第一步已經邁出。

會議持續到中午。

真空所食堂送來了午飯，高粱米飯、白菜燉豆腐、鹹菜疙瘩。

大家就著茶水，一邊吃一邊繼續討論。

文昭南教授提出了一個想法：“宋教授，對於將工藝‘資料化’，我深表贊同。不過，我們現有的檢測手段，無論是干涉法測厚，還是電測法測阻，得到的都是宏觀、間接的‘結果’引數，無法反映薄膜生長過程中的微觀狀態變化。”

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