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四合院:我是雨水表哥_第291章 強大的真空所(2)

測溫靠的是插入坩堝側壁的一根老舊熱電偶,連線的毫伏表指標緩緩偏轉。

“溫度控制是個大難題。”顧贇苦笑道,“加熱絲是我們自己繞的,溫場不均勻;熱電偶的精度有限;控溫電路就是簡單的調壓器。能控制在±10°C以內,就算成功了。”

呂辰看著牆上的溫度曲線圖,那上面用不同顏色的鉛筆標註著多次實驗的資料,曲線起伏如心電圖。

每一次成功的沉積,背後都是數十次失敗的摸索。

溫度穩定後,真正的“魔法”開始了。

劉師傅緩慢地開啟兩個鋼瓶閥門,一個是氨氣,一個是氯矽烷,也就是SiH?與Cl?的混合物。

氣體透過手工打磨的針閥,進入管道。

沒有質量流量控制器,沒有比例閥。

流量控制,靠的是觀察玻璃轉子流量計裡那個小浮子的位置。

浮子在玻璃管中上下浮動,劉師傅要根據浮子的高度,“估算”出氣體的流量比例。

“氨氣……大概每分鐘150毫升。”他低聲自語,手指微調閥門,“氯矽烷……30毫升。比例5:1。”

他的眼睛緊緊盯著兩個流量計,整個實驗室鴉雀無聲,只有真空泵的低鳴和電流流過加熱絲的輕微嗡嗡聲。

氣體進入鐘罩,在高溫的基片表面發生化學反應。

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