次日清晨，楚千瀾驅車抵達深藍半導體。
二號生產樓的45奈米光刻裝置正有條不紊地運轉，淡紫色的極紫外光束在晶圓表面勾勒出細密紋路，而隔壁的28奈米光刻產線則被安保守住了出入口，空氣中瀰漫著緊張而肅穆的氣息。
王世傑、張北光早已等候在觀察窗前，臉上難掩興奮與忐忑。
看到楚千瀾走來，兩人立刻迎了上去。
“楚總，裝置已完成最後校準，光源功率穩定在±0.2%，工作臺定位精度達±0.001微米，各項引數均優於設計標準。”張北光遞上資料平板，聲音帶著抑制不住的顫抖。
楚千瀾目光掃過螢幕上跳動的即時資料，微微頷首：“開始流片吧，重點監測良率與穩定性。”
王世傑抬手示意，技術人員立即按下啟動按鈕。28奈米光刻裝置發出低沉的嗡鳴，傳送臂精準抓取矽晶圓，緩緩送入預處理模組。
極紫外光源投射出比45奈米裝置更細密的光束，在晶圓表面刻畫出複雜的電路紋路，每一道線條都銳利如刀，誤差控制在奈米級。
觀察窗前，眾人屏息凝視。螢幕上的流片進度條緩慢推進，塗膠、曝光、顯影、蝕刻等工序一氣呵成。當第一片晶圓完成流片，被送入檢測裝置時，整個車間鴉雀無聲。
“線寬均勻度誤差±0.002微米，符合設計標準！”檢測工程師高聲彙報，聲音打破了死寂，“關鍵電路無橋連、無鋸齒，光刻質量完全達標！”
王世傑長舒一口氣，臉上露出欣慰的笑容：“按這個進度，首批100片晶圓將在兩小時內完成生產，良率初步預估能穩定在92%以上。”
楚千瀾凝視著螢幕上平滑的引數曲線，眸色中閃過一絲讚許：“92%的良率，超出預期。後續28納米制程的晶片，要轉移到這條新產線上生產。”
雖說45奈米光刻機也能生產28奈米晶片，但透過多重曝光技術生產晶片，需要增加多道工序，良率自然會降低。
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