在南方光學裡，徐申學看到了他們的先進第五代COMS感測器的產線，同時也看到了他們還在實驗室裡的第六代COMS感測器的樣品。

當然更重要的還是看了他們的光刻機鏡片生產線！

這個光刻機鏡片的生產線，和常規工業產品的廠房是有巨大差異的。

徐申學所看到的是更像是實驗室一樣的生產車間，裡頭有著大量的頂級的裝置，並且整個生產環境都是屬於高度無塵環境。

南方光學的負責人解釋道：“車間裡生產的是EUV光刻機使用的鏡片，其平面精度非常高，空氣裡隨便一粒灰塵落在上面，都意味著超高精度的鏡片上出現了一座‘大山’，為了製造這種鏡片，必須在超潔無塵環境下進行！”

“現在這個車間生產的鏡片，是用於HEUV-300B光刻機的主鏡片，鏡面直徑達到一米，但是表面粗糙度只有三十五皮米，而面精度，即峰值與谷值的差值只有0.15奈米。”

“也只有這種平整度的鏡片，才能夠鏡收集極紫外光光源，最後產生穩定的13.5奈米的極紫外光光束用於曝光生產！”

“為了達到這種超高精度，我們在材料上使用了總公司材料研究院研發的XHJ14鉬/矽複合材料，足以反射極紫外光不吸收，同時在加工上，我們透過採用離子束拋光為主，再輔以磁流變拋光等多種拋光技術，透過多種不同的拋光工藝相互結合，逐步平整鏡片，最後達到了設計要求！”

“這位是我們南江科技的副總經理兼光刻機鏡片事業部總經理，我司首席科學家曹星辰曹教授，之前的DUV鏡片以及現在的EUV鏡片，都是他帶著團隊做出來的！”

徐申學看著前方這個小老頭，臉上帶著熱誠的笑容上前握住了曹教授的手：“多虧曹教授的多年辛苦，這才能夠搞出來至關重要的光刻機鏡片，才能夠打破國外的光刻機封鎖，國內半導體事業的蓬勃發展，曹教授居功至偉啊！”

曹星辰教授也是一臉的笑容：“哪裡，哪裡，我也只是做了分內事，而且真說到技術方面，其實我也只是個不太懂的老古董，以前搞個DUV光刻機的鏡片還湊合，而到了EUV鏡片這一階段裡，其實我也就是掛個名，主要的技術工作還是我們的年輕人做的！”

說著，他稍微側身，把他身後的一個約莫三十幾歲的男子稍微拉出來：“這位是錢大同教授，也是我的學生，他擔任我們EUV鏡片團隊的總工程師，小錢可是我們光學領域的頂級天才，別看著他年輕，但是其技術在國內首屈一指，哪怕是放在全球範圍我估計著都能進入前五之列了！”

“現在啊，是年輕人的時代了！”

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