深城，海灣科技的三號樓，也是EUV專案辦公樓裡的一樓實驗室裡。

徐申學帶著幾個集團高管在海灣科技的眾人陪同下，參觀了這臺EUV光刻機原型機。

EUV光刻機這東西，光看外表也看不出來什麼，就是一個大櫃子……光看這個大櫃子，普通人很難想象這東西的價格得至少一點五億美元甚至更貴。

此時海灣科技的CEO王道林，則是一臉興奮的向徐申學介紹著這臺原型機的基本情況：“我們的這臺原型機在研發的時候，已經歷經了多次的試驗機型的研發，以逐步提升技術水準！”

“如在關鍵技術引數，也就是數值孔徑上，我們一開始只能做到0.25，而而這一水平的數值孔徑下，哪怕是我們採用了波長更短極紫外光，但是最後做出來的解析度依舊不行，第一代試驗機的解析度只有三十五奈米！”

“後續我們繼續研發，透過多系統的整合，先進材料的進一步應用，把數值孔徑提升到了0.33，也就是國外ASML旗下產品的同等水準。”

“同時我們在其他子系統，尤其是光源系統以及鏡片系統上也獲得了巨大的技術進步，等到第二代試驗機的時候，我們已經把解析度提升到了二十奈米！”

“理論上來說，這個解析度已經很不錯，已經可以用來生產現在的這些十奈米等效工藝，十二奈米等效工藝，甚至等效七奈米的晶片了！”

“但是價效比太低了，現在的EUV光刻機研發成本投入巨大，同時製造的硬體成本也會非常大，最後售價可能是現有的DUV浸潤式光刻機的兩倍以上，但是EUV光刻機的生產效率目前還無法提升，只維持在每小時一百片的水準，這意味著從商業價值上來說，第二代試驗機依舊沒有實際價值，同時當時的套刻精度也只有二點五奈米。”

“而我們目前量產的最先進的HDUV-600B型光刻機，解析度達到38奈米，套刻精度2.5奈米，已經可以很充分的滿足10-14奈米工藝的晶片生產需求，價效比更高！”

“綜合來看，第二代試驗機因為價效比問題，並不具備商業化潛力，所以我們在第二代試驗機的基礎上繼續進行改進！”

“從去年開始，我們開始第三代試驗機的深度改進研發，主要是進一步提升解析度以及套刻精度，此外也進一步提升機臺的工作效率以及穩定性，為商業化生產做準備。”

“透過大量的技術研發，在仙女山旗下眾多合作企業的配合下，我們先後對光源系統，曝光系統，機臺系統等進行了大幅度的技術升級！”

”！型A003-VUEH：機型原的號型產量是也時同，機驗試的代三第臺這了來出做們我，終最“

”。米奈2了到升提度刻套是的要重最，33.0為徑孔值數，米奈三十了到達經已度析解，A003-VUEH臺這的們我前目，級升技的量大過經“

”！片晶的藝工米奈五效等產生至甚，片晶的藝工米奈7效等產生的本低機刻臺這用使以可們我著味意這，步進技的大巨個一是升提的度刻套中其“

。了楚清搞能係關的間之藝工及以置裝導半對多，導半的年多麼這了搞學申徐

。了值價大巨的機刻VUE臺這道知就他，度析解的藝工米奈四十個這聽一是

。的關相息息度刻套及以度析解的機刻和是，好做到做能藝工片晶

。度程個這了到達真隔間屬金的片晶說是不並……藝工效等於屬是也藝工米奈十、米奈六十、米奈十二的邊那電積臺，藝工效等於屬是都米奈十、米奈二十、米奈四十、米奈八十的雲智，傳宣行進來藝工效等用般一廠工片晶，壞好的藝工片晶

。了距間屬金半是就的大最係關機刻和中其而，壞好的藝工片晶斷判來料資鍵關個多用使般一業行片晶

。米奈二十三是距間屬金半其，藝工米奈十效等的場市向推剛年今而；米奈三十四是距間屬金半其，藝工米奈四十的導半雲智如

。七十二是距間屬金半，藝工米奈七效等的產投年明計預，中當發研在正

。大會不是但，差偏些一有，準水個這多不差也上點節藝工各在，星四及以電積臺的壁隔

……天上會本是但，高強勉能也，度程的米奈兩到做夠能度刻套果如，行不說是不也，然當……搞難很就藝工米奈五效等如比，了搞續繼下往再難很，了限極論理理了到經已制限的度析解於限機刻式潤浸VUD，後點節藝工個這藝工米奈七效等是就也，距間屬金半個這米奈七十二了到而

。準水的米奈五十二概大到做距間屬金半的片晶把試嘗是就，嗯……片晶的藝工米奈五效等搞機刻式潤浸VUD用試嘗在都實其，電積臺的面對及以導半雲智

。很得難，塹天的張誇以難道一是舊依是但，升提的藝工屬金半的米奈兩是只看別

。得值不全完看來度角業商從，了淡扯太個這，片晶的米奈五效等搞機刻式潤浸VUD用……步止而線路技一這對都上際實但，搞在都看別以所

。呢機刻VUE指在都……小點雨，大聲雷是都，上線路技一這藝工米奈五效等造制機刻式潤浸VUD用使在，手對爭競的藝工進先片晶家兩這以所

。呢來出搞有沒還都點節藝工屬金半三十三概大是就也，嗯，藝工米奈十連們他，了慘更就們他，爾特英和星四於至

……期無遙遙，米奈七效等

。改改修修上藝工米奈四十在能只，利順不常非進推技，況種各於限是爾特英的中其

。轉打裡藝工米奈四十在還在現，難很也藝工進先來起搞們他下助協的才人級頂有沒，授教松梁了走挖導半雲智被前之是則，邊那星四而

。了難瑪尼太，米奈七效等搞後然，曝重四玩機刻式潤浸VUD用……藝工米奈七的續後搞機刻VUE用指始開也在現，商廠導半家兩這，時同

。漲暴本片晶致導而進，了低太率良是而，了不搞是不也……難萬難千是也，藝工米奈七效等做來用是算就，了米奈五效等搞說別，制限度析解的本於限機刻式潤浸VUD，以所

。的言可值價場市有沒是這，倍幾好漲暴本是但，多升提沒能效你，西東的比效價究講常非個一是可片晶而

？麼什著味意這……度的曝重四機刻式潤浸VUD到達夠能也曝次單是怕哪，低更度析解的它為因……了機刻VUE要需就實其，段階個這藝工米奈七效等了到

！啊錢省

。機刻式潤浸VUD於低舊依本其，片晶的藝工米奈五，米奈七效等的來出產生此因，片晶的藝工米奈五至乃米奈七效等產生能就曝重四要需不為因是但，低更率效產生，貴更機刻VUE怕哪

。的到做法無所機刻式潤浸VUD的在現是也這，片晶的好更能效產生夠能還續後，大更力潛的機刻VUE，然當

！啊律規理的本基視忽能不，裡這在擺就限極理是而，係關啥沒藝工和都這，的到不做都何如論無是機刻式潤浸VUD……候時的米奈多十、米奈多十二至甚，米奈多十三、米奈多十四到升提步一進距間屬金半的片晶，展發步一進技藝工片晶，來未到等如比

。高比效價，錢省段階米奈五和米奈七

。了不造就它沒……求需是則段階米奈一，米奈五點一，米奈二，米奈三效等

！故緣的機刻VUE搞要都何如管不學申徐是就，點兩這述上

。機刻階高要需這，高很求要藝工對且而，的產生機刻用是也’片晶子量導超‘件部零心核的部它，機算計子量導超的號型用商出釋年明將即，發研秘在正團集雲智在現是怕哪，提一帶順

。高算不求要能效的機刻對是但，片晶產生來機刻要需也然雖，機算計子量子的發研在正構機些一外另國是倒

。了破打底徹被就，鎖枷道一後最的業工子電夏華擾困至乃，團集雲智擾困，生誕的機驗試代三第臺這著隨，在現而

”？用商產量以可候時麼什，了當相經已來起看機型原臺這“：是就題問的心關最學申徐在現以所

”。題問多諸的在潛來出找，試測種各的間時定一行進它對要需舊依們我，確明不舊依這，題問麼什暴會用使間時長際實是但，行可論理然縱，機型原臺一是只竟畢它是但，機刻的型A003-VUEH的多更產生以可時隨，節環技的有所了通打經已們我，說來度角技從，的去號型產量著奔是就，候時的機型原臺這計設們我“：道林道王OEC的技科灣海

”！作工試測的期前行進來用，型機驗實的量供提始開子電微雲智為以可們我，始開月個下是但”

”！合配行進邊這子電微雲智要需還面方這而，間時長多要需，利順否是作工試測的續後看要需還，話的號型產量式正“

”？作工試測些這定搞能才久多要需還邊這們你“：軍丁OEC的子電微雲智的察視來著跟旁一了向看學申徐，候時個這

”！大很會別差技藝工的機刻VUE和藝工套一這而，的上之機刻式潤浸VUD在立建是技的藝工米奈七的們我前目，的上之藝工米奈五效等的來未及以藝工米奈七效等在用是然必，話的機刻VUE購訂們我“：道後會了著酌斟軍丁

”！善完不很舊依是但，作工備準發開藝工的上論理了行進試嘗也，料資秘的機刻VUE外國些一了得獲也然雖們我前之“

”！定搞右左年兩在有藝工米奈七的機刻VUE，完年一在心信有們我作工試測機刻純單，然當“

。產投模規大始開初年後大，證認技的藝工米奈七效等機刻VUE完能就該應話年半下年後到等，子電微雲智給付產生次批能就，號型產量的機刻VUE右左天冬年明著味意這，番一了算盤中心學申徐

。藝工米奈七效等的機刻式潤浸VUD的用好不又貴死在現代取而進

。接以可還表間時個這

……快要電積臺加LMSA手對爭競比至

？麼什為

。統系子種各的錯不很得獲能，地各球全源來技的們他，行不技說是不也……利順多上不談都直一案專機刻VUE的邊那LMSA，聽打的門部報下底手學申徐照按為因

！多太事破種各來起搞……間時拖，題問出裡那天明，題問出裡這天今是要主

！勞功的保安河銀是都本基，嗯