聽了王道林的話，又看了看國內目前基礎技術的一些資料，徐申學覺得情況比自己預估的稍微樂觀一些。

DUV乾式光刻機，這方面國內的技術其實還成，大方向已經搞得七七八八了，剩下的就是一些水墨功夫，哪怕沒有自己參與，估計四五年後也能夠搞出來。

而自己要做的就是，利用自己的資金以及科研系統，加速這一程序。

當即道：“集團投資的一些行業關聯的子系統的公司目前也正在推動相關技術，你們這邊也要努力，我期待你們的好訊息！”

徐申學可從不指望國內現有的這些廠家，做事太墨跡了……

反正國內的基礎技術也到位了，那麼就自己砸錢，然後再加上科研系統輔助，爭取儘快把DUV乾式光刻機給弄出來……

DUV乾式光刻機，可以用來生產九十奈米以及六十五奈米工藝這兩個工藝節點的晶片。在最近幾年還是有一些市場的，早點弄出來好歹喝點湯水回點本錢！

如果晚幾年的話，連湯水都沒得喝了。

徐申學仔細翻看了技術資料後，又道：“還有DUV浸潤式光刻機，這東西更重要，技術進度也不能落下！”

DUV乾式光刻機，註定是落後技術了，而DUV浸潤式光刻機雖然在幾年後也會落後，但是好歹十幾年後還能用啊，繼續推進技術的話，未來是能夠達到等效七奈米工藝水平的。

因此徐申學對這玩意更關注。

王道林這個時候倒是面露為難：“我們現在也在推進DUV浸潤式光刻機的開發，但是這個難度比預估的還要更大！”

徐申學道：“難也要搞，而且是要儘快搞出來。”

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