不過很快吳德義就釋然了，自己現在工作的智雲科技可是一年數百億美元營收，毛利潤都有一百多億美元的跨國科技巨頭，其利益繫結以及自身的現金流是極其恐怖的，和尋常企業那是兩碼事。
吳德義不知道最後公司會怎麼解決這些專利問題，但是既然公司說了不用擔心，他也就不管那麼多了，繼續搞就是了。
當即吳德義收拾了心情，繼續給徐申學解釋道：“利用浸潤式光刻機，則是可以向下突破四十五奈米工藝，做到四十五奈米乃至二十八奈米工藝，我們公司的下一步目標就是四十五奈米，然後是二十八奈米，逼近DUV浸潤式光刻機的物理極限！”
徐申學道：“二十八奈米就是極限了？我聽說不是正在搞比節點更低的工藝嗎？聽說臺積電那邊的二十八奈米節點已經差不多可以用了，興許明年就能用上了！”
“同時還聽說他們打算把工藝節點進一步往前推移到二十奈米的節點呢！”
吳德義道：“其實二十八奈米已經逼近這種DUV浸潤式光刻機的物理極限了，雖然特定情況下單次曝光可以達到二十二奈米左右的程度，但是沒有什麼實際價值。”
“DUV浸潤式光刻機的單次曝光，其成熟工藝基本就限定在二十八奈米了。”
這個時候，一旁的丁成軍也道：“這也是為什麼193奈米波長的DUV浸潤式光刻機，又被稱之為28奈米光刻機的主要緣故……就是這種光刻機的理論物理極限就是單次曝光二十八奈米了！”
“據我所知，臺積電，英特爾等公司嘗試著讓DUV浸潤式光刻機，在逼近了193波長的物理極限後，透過改變晶片設計，然後做出來等效工藝，但是柵極長度並不會有太大的改變了。”
吳德義這個時候也道：“此外還可以採用多重曝光工藝。”
“如果利用多重曝光技術，193奈米解析度的浸潤式光刻機，理論上甚至能夠做到等效十多奈米乃至更低等效工藝的晶片……只不過工藝過於複雜，目前還沒有公司在這一技術領域獲得過成功。”
“實際上，使用多重曝光技術的話，遠不如直接使用光源解析度更小的EUV光刻機來的簡單直接，成本還低。”
徐申學聽了後，回憶了一番自己所記得的一些晶片方面的資訊，但是能記起來的也不多……也就是什麼十四奈米，七奈米，五奈米這些。
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