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我的一九八五_第一六六七章 浸沒式光刻機面世(1)

第一六六七章 浸沒式光刻機面世

“恭喜鄧院長、錢所長,我代表京城半導體集團獎勵浸沒式光刻機研發團隊1000萬元,所有人晉升1級工資,推薦錢所長申請工程院院士。”

啪啪……

6月17日,孫健在朱儁松、喻學強、魏建國、錢國培、歐陽明、陳偉長、夏季常等人的陪同下,來到京城半導體集團(BSEC)光刻機研究院會議室,笑容滿面的會見院長鄧國輝和所長錢富強領導的浸沒式光刻機研發團隊的147名人員。

眾人喜笑顏開,等待這一天已經4年了。

原常務副總經理李昌傑擔任PGCA半導體公司中方總經理後,副總經理錢國培擔任常務副總經理。

BSEC是淘寶控股公司控股的高科技上市公司,淘寶控股(京城)公司總經理朱儁松和副總經理喻學強擔任BSEC的董事。

193n長的世界性光學難題困擾了光刻機行業近10年,為了攻克這道難題,GCA選擇了技術最複雜的EUV(13.5n技術路線,同時也沒有放棄157n光器路線;Nikon、Canon、SVG和AS選擇157n光器路線。

1999年7月,BSEC研究院院長鄧國輝院士和光刻機光學研究所所長錢富強研究員率領光源研究所的147名研發人員,在孫健的“點撥”下,經過近3年的潛心研究,終於研製成功浸沒式光刻系統技術,ArF雷射器發射的193n源透過純淨水的折射,得到了波長134n光源,解決了業界遇到的193n長的世界級難題,並生產了一臺65n程工藝的浸沒式試驗機,避免刺激美國,秘而不宣!

孫健當時告訴大家,因試驗機所用的光學系統是委託CarlZeiss AG生產的,沒有自主智慧財產權,因瓦森納協定的限制,極有可能被封鎖,等自己研製的光學系統符合要求後,再申請公司發明專利。

當時只能委屈錢富強和147名研發人員。

“多謝董事長!”

一晃10年過去,錢富強已經55歲,兩鬢斑白,由衷的表示感謝,當年為了賺錢,停薪留職下海,被孫董事長派人請回,擔任光源研究所副所長,晉升研究員,擔任光源研究所所長,一路走來,事業順利,但沒有想過晉升院士,他和鄧院長都明白孫董事長雪藏浸沒式光刻機的苦衷,美西方國家一直利用瓦森納協定對國內高科技企業進行技術封鎖和打壓。

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