鏡頭是光刻機的核心部件，主要就是玻璃和鋼，一個1x的鏡頭後面直徑有一米左右，重有一、二噸，4x的要大很多和重很多，這種大型的鏡頭光學系統如今只有尼康、蔡司公司和佳能公司能生產。
日本和德國公司在光刻機光學系統、光刻膠和掩膜版技術上領先世界。
gca的最大缺點就是因為蔡司公司提供的光學系統跟不上光刻機行業的飛速發展，導致gca每次光學系統更新都比尼康公司慢半拍，製程工藝比尼康慢一代，在高階光刻機市場上被步步領先的尼康公司打敗。
工作臺就是一個大托盤，下面是線性馬達來控制平臺移動。
正常途徑就是光源透過反光鏡鏡頭組，集光再反投到掩膜板上。
掩膜板就是電路圖反刻，從實驗室裡刻出來的，光透過掩膜板透明的部分投放到矽片上，曝光幾十毫秒後，透過化學反應弄出矽片上的電路圖。
掩膜板主要是玻璃片，上面刻有預想的電路，然後放在機器上曝光，刻到矽片上看效果。
光刻機光源從六十年代初到八十年代中期，汞燈已用於光刻，其波長分別為436ng線）、405nh線）和365ni線）。
隨著半導體行業對更高解析度（整合度更高和速度更快的晶片）和更高產量（更低成本）的需求，基於汞燈光源的光刻工具已不再能夠滿足半導體業界的高階要求，krf（248n和arf（193n準分子雷射器應運而生，對鏡頭、掩膜版和光刻膠的要求更高。
隨著晶片製程工藝的提升，光刻機成為半導體行業發展的關鍵裝置。
雖然受到《日美半導體協議》的影響，日本半導體如今失去了美國市場，但代表世界光刻機最高水平的尼康光刻機還在不斷進步，ii、a和hp等半導體裝置公司派業務代表，長期住在尼康半導體裝置公司，翹首以盼最先進的光刻機出廠。
如今，尼康光刻機佔據光刻機市場的40%，壟斷了高階光刻機市場，佳能光刻機佔20%，svg、gca和ultratal、p＆e、eaton和日立等光刻機公司，每家佔據的市場份額都不到5%。
日本光刻機裝置公司在光刻機市場獨佔鰲頭！
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