“我對光刻機有一點設想。如今國內是晶片是……”
老專家搶先回答:“接觸式光刻。”
孫夢毓點頭,所謂接觸式光刻便是掩膜貼到矽片上,再用燈光照射。①這項技術最難的點便是掩膜的製造,只要掩膜成效好,後面的光照根本不是問題。
由此令國內晶片的走到一個岔路,很多行業者都去鑽研如何製造掩膜,要麼便是研製光刻膠,光刻工藝很少有人去鑽研。
當然現在更不用提,別說光刻工藝,連鑽研掩膜製造的人都少,而國外呢?接觸式光刻是人家六十年代玩的東西。
就這,國內都沒趕上。
其實正確的思路是什麼呢?
改變光刻工藝!
這是從根本上提升效率和功能的辦法。
在孫夢毓看來,如今的晶片製造只能說是半自動化,用來生產晶片的機器至少差國際水平二十年。
“我認為咱們晶片製造工藝走入了一個誤區,可能是接觸式光刻方法的影響,致使咱們的視線都集中在掩膜上,不如轉換思路,從光刻工藝上入手。”
“例如分步投影光刻技術。”
老專家眼睛一亮,示意孫夢毓說說看。
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