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六零軍婚:科研大佬拿捏冷麵軍官_第3643章 夏黎:哈哈!笑不是因為開心,是真沒招了(2)

首先就是華夏沒有超淨間。CS對灰塵的容忍度比雙極性更苛刻。一顆塵粒落在柵氧生長區,就等於一個針孔漏電,等於晶片廢掉。

這意味著哪怕流程設計對了,良品率也是災難級的。

不是“做不出”,是“做一百顆壞九十九顆”。

成本簡直高到飛起。

第二是晶片欠缺問題。

目前國內倒是有光刻機,不過就那麼一臺可以用的光刻機,不可能拿來給他們用來做好幾十萬個晶片,人家華科醫院那邊的科研人員還得幹別的呢。

而且就衝他們那寶貝光刻機的模樣,肯定怕他們把東西用壞,不肯讓他們做幾十萬個晶片。

第三是矽材料的純度不夠,CS柵氧厚度只有幾百埃,任何微量金屬汙染就等於漏電流暴走。

國產直拉CZ矽當前純度勉強夠雙極性/NS實驗,用於高質量CS需要的超低氧、超低金屬雜質、無位錯單晶,根本拉不出合格的大直徑單晶棒。

第四點是:CS需要精確控制p-well摻雜剖面。理想做法是用離子注入機,能量和劑量可控。

華夏有少量仿製和進口的離子注入機,但有巴統協議在,想也知道,外國人給華夏的都是落後的產品。

束流均勻性、劑量精度、晶圓級自動化遠不夠量產。

靠傳統熱擴散湊合的話,橫向擴散不可控,直接導致溝道長度一致性崩掉,最終致使Vt分佈寬得像撒胡椒麵。

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