“......這個缺陷就是產量極低且良品率極其低下。耗費了巨量人力物力製作出來的極少量合格晶片,只能用在最為急需的導彈、衛星、火箭以及極少數最為重要的加工裝置上面......70年前後,國家為了妥善解決這個問題,終於下定決心集中人力和物力,研究我們自己的光刻機。說起這事,就不得不提到徐瑞林(此為化名。但的確有這麼一個英雄人物)徐總工。當時上面緊急調回已經下放下去‘學種水稻’的徐總工,讓他在清大里面緊急組建攻關團隊......”
提起徐總工這個人,鄭通元臉上不由自主地露出了深深敬仰之色。
“徐瑞林?清大?鄭大哥,你要說的,是不是咱們清大那個精密儀器繫於1971年在徐瑞林徐總工的帶領下研製成功了我國第一臺光刻機?”
陳國泰神色一動,忍不住插嘴說道。
“沒錯,的確是這樣。當時徐總工是臨危受命......沒有任何圖紙和裝置,就連概念都是模糊不清,一切都是從頭開始,就連每一個螺絲都要從頭設計製造......又沒有任何加班費和獎金......但就算是這樣,徐總工帶領的團隊硬是從無到有,只用了一年多時間,就把光刻機最主要的氣體雷射器,以及工件臺的精密導軌、絲槓、滾珠、步進電機、數控計算機,和其它光學系統、大孔徑投影物鏡等等元件全部研製出來並組裝成功......我個人覺得,他們團隊的行為比起從頭開始搞‘和平工程’的那批偉大科學家都不遜色!”
鄭通元講述到這裡,禁不住取下眼鏡擦了擦眼角。
“沒錯啊。他們都是國之脊樑!應該永遠被我們的國人和所有後代銘記!”
陳國泰對鄭通元提到的人也是肅然起敬,深深歎服。
“......就這樣,徐總工團隊經過一年多時間的捨命付出,終於在1971年成功研製出我國第一臺光刻機和分佈重複照相機,並迅速投入規模生產,供應全國半導體行業使用,為民生工業和軍事工業持續提供‘心臟’動力......就在去年,那位執政之後非常重視科技,此項成果終於榮獲全國科技大會獎。徐總工團隊也終於獲得了應有的榮譽......這臺光刻機也被稱為我國第一代光刻機。它讓我國的工控晶片跟上了10微米制程的世界主流水平......”
鄭通元徐徐吐出一口氣,總結說道。
“鄭大哥,既然那臺光刻機被稱為第一代,其實也就意味著有第二代對吧?這方面你能稍微說說嗎?”
聽得心馳神往的陳國泰深吸了一口氣,順勢說道。
“這個......具體的研發過程肯定不能說。不過表面上的大體情況還是可以透露一些......徐總工取得成功之後,並沒有就此止步不前。從75年開始,他帶領團隊採用直接在半導體晶片上光刻積體電路的方法,投入了對‘自動對準分步投影光刻機’的研究。這項研究被稱為第二代光刻機。預計成功之後會讓我國的晶片製程突破微米級,正式扣響奈米級的大門。因為它加工的最細線寬能達到零點八微米,也就是800奈米......”
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