光刻機這個專案,難就難在它不是一臺機器,是一串大山。
光學系統,精密運動,超潔淨環境,光刻膠,隨便拎出來一塊,都是別人幾十年攢下來的家底。
江陽的打法很簡單,不跟人家拼整機,先把光學系統拆開,拆成一個個小山頭,一個一個打。
他把光學系統拆成了四塊:照明系統、物鏡、測量系統、計算光刻。
照明系統管光從哪來,怎麼把光整得又勻又準。物鏡管光往哪走,把電路圖縮到奈米級印到晶圓上。
測量系統管光走對了沒有,差一個原子都不行。計算光刻管光該怎麼設計,用演算法反推掩膜版該怎麼畫。
四塊裡頭,物鏡最難,測量系統最繞,計算光刻最吃演算法。江陽把它們分給不同的組,每組配一個核心研究生,配一批上海微電子的工程師,再配一個許可權:隨時呼叫山河一號。
物鏡是光學系統的心臟。一臺高階光刻機,物鏡裡要塞二十多片鏡片,每一片的曲面都不一樣,面形誤差得控制在頭髮絲直徑的幾萬分之一。
過去這東西怎麼做?靠老師傅的手感,靠幾十年的經驗積累,靠蔡司一家壟斷。
蔡司有個很有名的說法,把他們的物鏡放大到德國國土那麼大,最高點和最低點的差距,不能超過十公分。
全世界能做到這一點的,只有他們一家。
所以他們才敢躺著賺錢。
江陽不信這個邪。
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