高負載工況下的長序列測試資料被拉出，與修復前歷史資料逐點對比。磨損、反射率衰減、像差偏移都換算成等效執行小時疊在一張圖上。
趨勢很清晰：修復後鏡片在高負載下衰減斜率陡得多，同樣的偏移閾值能撐的時間大幅縮水。幾個批次雖有差異，但誤差帶始終回不到修復前水平。
技術人員反覆核對日誌，排除功率、真空、溫控和採集誤差，只能承認——修復鏡片的高負載壽命確實明顯縮短。
技術評審會上，團隊首接按統計下限和最壞情況重估壽命，把各批鏡片失效閾值統一到最嚴格標準，只要關鍵光學指標偏離到影響良率，就算壽命終點。
折算歸一後，最保守的資料給出一個數：高負載有效壽命不超過五百小時。有人提議用中位數或置信區間做參考，很快被否決——當前庫存和維修週期負擔不起任何樂觀。
最終形成決議：五百小時作為高負載有效壽命預警值，接近就必須降載或停機檢查。這個數字寫入內部技術規範，成為後續排程與工藝策略的硬約束。
控制室監控介面隨即改版，新增“累計執行小時”和“可用小時油表”兩塊顯示。系統分別累加每臺EUV機臺的高負載小時，以五百小時閾值即時計算剩餘可用小時。
排程程式接入約束，一旦預計工單會讓某臺機臺在結束前超出五百小時，系統就報警並禁止排程，手工覆寫被鎖死，繞開限制的操作全部留下審計記錄。
交接班時，班組長必須報告各機臺剩餘可用小時，把“油表”讀數和良率、稼動率並列。五百小時不再是實驗室引數，而是控制室裡一條隨時可能歸零的紅線。
在此基礎上，林知涯重排全廠產能策略，把訂單按毛利、客戶等級、技術難度分檔。高附加值訂單和新工藝驗證專案被優先分配到EUV線。
量大但利潤薄、技術成熟的標準產品一律回退到DUV線上生產，即便良率稍低、週期拉長。他要求計劃把EUV視為稀缺戰略資源，只用在能最大釋放價值的地方。
未來關鍵節點的工藝驗證被壓縮成最少實驗次數，DOE改為分階段實施，中途根據資料裁剪，避免為“完美實驗設計”浪費機臺壽命。從此，每一小時EUV高負載執行都必須在財務和技術積累上體現出明確收益。
與此同時，法務和採購把與供應商的合同、技術紀要全部翻出。保修條款看似周全，細則卻處處設限：一旦被認定為“高負載異常工況”或“環境條件不滿足標準”，供應商就可以拒賠。
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