“這相當於工藝裡的什麼?”省長問。
“相當於我們線上一個個工藝測點。”林知涯在黑板上畫了個方框,“中間這條是‘工藝線’,左邊這幾個點,就是我們在擴散、刻蝕、氧化後面加的測點。以前我們只看最後的‘成品’——晶片亮不亮。晶片不亮,就跟飛機掉下來一樣,但到底是起飛就出問題,還是半道開始晃才掉,我們不知道。”
他又在黑板右邊畫了個長方形:“這個就是最後的良率。過去只能看這個長方形高矮。現在我們中間加了幾盞‘燈’——就像這隻測試箱。飛機一搖,燈就閃,我們就知道是哪一段出問題。”
天上的航模這時完成了一個大彎。按預案,另一名學生輕輕擰動另一端的電位器,三隻燈從一閃一滅,變成兩亮一滅,電錶指標擺動更大,蜂鳴器連續叫了幾聲。
“現在請大家看這個。”
林知涯用粉筆敲了敲黑板右下角那塊透明膠片。膠片下面壓著一張列印模糊的表格——
“批次:S-8604,SRAM試片,33片,點亮11片,良率33%。”
旁邊是三根手繪柱狀條,前兩根矮,最後一根稍微高一點。
“這是昨天晚上我們剛跑完的一批SRAM試片。”他說,“同樣33片,現在點亮的是11片,這個數本身不算多好,但比剛接這條線那會兒己經往上挪了一截。關鍵不是這11片,而是我們大概知道了剩下22片壞在工藝哪幾段。”
他在黑板左邊畫了三個圈,分別標上“擴散”“刻蝕”“對準”:
“根據我們這段時間一首記的測點記錄,這批壞片裡,將近一半出在擴散,三成在刻蝕,剩下在光刻對準。擴散爐那邊我們己經調整了溫度曲線,刻蝕這邊也換了一套配方。剛才大家看到燈一會兒亂閃、一會兒穩住,就是把這個過程簡單化了。”
省長眉毛微微一動:“這些資料是你們自己盯出來的?”
“是。”
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