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高考前七天,我穿越十年後_第150章 永遠為懂技術的人留着(1)

首臺裝置在中芯國際產線投入試執行。

前三天的資料一切正常。

光源穩定性99.2%,反射鏡面形精度RMS 0.09nm,雙工件臺同步精度0.5nm,三項核心指標全部達到驗收水平。

中芯國際的工程師們輪班盯著控制屏,每一組資料出來都有人記錄、有人複核、有人簽字。

唐國安沒有回京城,在中芯國際旁邊找了間快捷酒店住下,每天早晨七點準時出現在潔淨室,晚上十點以後才走。

第西天,中芯國際開始用這臺裝置試產7nm邏輯晶片。

第一批晶圓進入光刻工序的時候,整個產線的人都屏住了呼吸。

中芯國際的技術總監守在控制室裡,面前十二塊螢幕上跳動著光刻機各個子系統的即時引數。

晶圓從光刻機裡出來之後,立刻被送進了檢測裝置。

檢測結果要等西十八小時。

那兩天張董沒怎麼閤眼。他夜裡給林陽打過一次電話,沒說什麼具體的事,就問了一句“你那臺機器以前跑過7nm沒有”。

林陽說“跑過測試片,但量產驗證是第一次”。

張董沉默了幾秒,然後說“沒事,我等著”。

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