1980年左右，中科院半導體所開始研製jk-1型半自動接近式光刻機，於1981年研製成功兩臺樣機。
而由於美國在50年代就已經擁有了接觸式光刻機，相比之下，中國落後了將近20年，同時國外從1978年開始轉向分步重複投影光刻，此時中國科學界也認識到，分佈投影光刻技術的優越性，但限於國內工業技術差難以實現。
在1978年世界上第1臺dsw光刻機問世不久，機電部第45所，就開始跟蹤研究分步式光刻機，對標美國的4800dsw，1985年研製出了bg-101分部光刻機樣機，並透過電子部技術鑑定，認為達到了美國同類產品水平，而當時採用的是436奈米g線光源。
這也就意味著1985年的時候，中國在高科技領域與國外的差距拉近到了7年左右，也就是達到了美國1978年的水平。
可以看出國產光刻機。研發在上世紀70年代後期起不直到80年代，後期技術一直在推進，並且取得了一定的代表性成果。
然而到了80年代中後期，中國卻因為技術封鎖以及買辦思想盛行，造成了光刻機的落後。
當時的巴統協議不批准向中國出售先進的裝置，國外工藝線已用0.5微米的裝置時，卻只對我國出口1.5微米的裝置，整整差了三代，此外8組還規定對我國出口的光刻機鏡頭na必須小於0.17，既只能有二微米以上的解析度。
所以說目前段雲從日本東芝引進的三微米晶元製程生產線，是正好符合巴統協議要求的，而目前日本最先進的0.9微米制程的晶元生產線，是巴統協議嚴格禁止對中國出口的。
段雲如果想製作出一微米制程的晶元，目前是不可能從國外直接買到現成裝置的，只能靠國內研發。
因為買辦思想的盛行，當時中國的光刻機雖然技術領先，但是也遇到很多的問題，因為搞研發就需要有很多的資金投入，但這些資金投入之後，有一些技術上的問題，在當時又不能夠很好的解決，因此看到國外很多先進的裝置之後，國家也就放棄了，對裝置的研發變成了購買。
這樣最終就導致了中國的光刻機研發上完全停滯，很多搞光刻機研發公司因為沒有資金的支援就變得岌岌可危，最後公司也倒閉破產。
段雲如果想製作出世界領先的nand快閃記憶體晶元，並且在快閃記憶體晶元領域保持長期的優勢地位，那就必須要有更先進的光刻機。
在摩爾定律下，每18個月積體電路上可容納的電晶體數目就會增加一倍，這就需要生產晶元的光刻機保持迭代。
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