工藝確定方面：確定DRA製造工藝，包括CS場效應電晶體的製備。電容器的形成等。堆疊式電容儲存單元通常在CS場效應電晶體之後形成，而深溝槽式電容儲存單元則在CS場效應電晶體之前形成。
選擇高質量的矽基板作為DRA基礎材料。
準備其他所需的材料，如用於電容器電極的TiN薄膜等。
矽基板處理：對矽基板進行清洗。拋光等預處理，以確保其表面質量。
CS場效應晶體管制備上，在矽基板上透過一系列工藝步驟製備CS場效應電晶體，包括氧化。光刻。摻雜等。
電容器形成上，根據設計，形成電容器。對於堆疊式電容儲存單元，電容器在CS場效應電晶體之後形成；對於深溝槽式電容儲存單元，電容器在CS場效應電晶體之前形成。
埋藏字線及主動區製備方面，在矽基板中埋藏字線，並在載體表面上形成主動區。埋藏字線與主動區相交，且在主動區中的寬度大於在主動區外的寬度。
其他結構製備領域，根據需要，製備其他相關結構，如傳輸管等。
對製造的DRA行嚴格的測試，包括效能測試。可靠性測試等，以確保其符合設計要求。
驗證DRA讀寫速度。儲存容量。功耗等關鍵指標。
首先要選擇矽晶圓，選擇高質量的矽晶圓作為製備的起始材料，其直徑可能達到200或300。
另外溼洗上，使用各種試劑對矽晶圓進行清洗，以確保其表面無雜質場效應電晶體區域定義
在光刻上，使用紫外線透過蒙版照射矽晶圓，形成所需的電晶體區域圖案。
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