“機械對準和光學對準的誤差分別多少?”
“機械對準的誤差大概在一點二奈米左右,光學對準的誤差波動比較大,有時候能到三點幾。”
“環境振動和溫控呢?”
“廠房的防震地基和潔淨室的溫控都是按最高標準做的,實測資料都在正常範圍以內。問題不在環境,在裝置本身。”
趙陽聽完之後沒有馬上說話。他靠在座椅上想了一會兒。套刻精度的問題大機率不是單個引數的事,而是幾個子系統之間的匹配沒做好工件臺的定位精度、光學對準系統的補償演算法、光刻膠的塗布均勻性,這些東西疊加在一起,單一調哪個都不管用。
光源均勻性的問題反而好解決一些,大機率是曝光劑量校準檔案的引數設定不對,或者鏡頭組的熱效應補償沒有做好。
旁邊的梁孟松好奇的看著自己這個年輕的老闆,他看過趙陽很多新聞,他跨專業的能力,梁孟松從來沒有質疑過。
但他可從來沒聽說過,趙陽曾經研究過光刻機啊!
不過就剛剛自家老闆問的那幾個問題來看,還真是個內行!
這可不是能裝出來的!
車子到了工廠門口,梁孟松領著趙陽首接進了潔淨室。換上無塵服,戴上口罩和手套,穿過風淋室,裡面的黃光區一排排裝置亮著狀態燈。
幾個工程師正圍在光刻機前面,有人趴在地上看工件臺的導軌,有人坐在主控螢幕前反覆調引數。看到梁孟松帶著趙陽進來,幾個人都停下了手裡的活。
趙陽沒有跟他們寒暄。他走到光刻機的主控螢幕前,調出最近幾次測試的全部引數記錄,一行一行往下翻。看了一會兒他抬起頭,問旁邊那個正在調引數的年輕工程師:“你們校準的時候,光學對準和機械對準是分開做的還是聯動的?”
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