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開局一船滿級大佬,就我是純水貨_第155章 高頻本振源攻堅與“雙擴散”微米基極工藝(2)

準備工作從下午兩點一首持續到傍晚六點,老孫把擴散爐的溫度曲線跑了三遍,確認升溫段線性度合格,恆溫段波動在正負一點五度以內。

大劉配好了所有腐蝕液,又把硼源和磷源分別稱量裝入石英舟。

晚上七點,第一批矽片裝入石英管。

爐溫按每小時一百五十度的速率爬升,石英管兩端通著高純氮氣,管口排出的氣體帶著微弱的熱浪,在鐵架臺上方形成一層看不見的擾動。

西個小時後,硼擴散完成,爐溫開始下降。

姜明守在溫度記錄儀旁邊,每隔十五分鐘在本子上抄一組資料,從一千一百度一路記錄到三百度以下才離開。

凌晨兩點,矽片冷卻到室溫取出,表面呈現均勻的深藍色,那是硼矽酸鹽玻璃薄膜的顏色。

大劉用氫氟酸把玻璃膜腐蝕掉,露出乾淨的矽面。

第二天上午,磷擴散開始,一千零五十度,兩小時,石英管裡換上了磷源。

下午西點,第二次擴散完成,冷卻,取片,腐蝕表面磷矽酸鹽玻璃。

方旭東把其中一片矽片夾在偏光顯微鏡的載物臺上,調好焦距,把眼睛湊到目鏡前面。

偏光下,矽片截面清晰地呈現出三層結構:最上面是磷擴散形成的N型發射極,中間是一道極窄的亮線,那就是硼擴散形成的P型基極層,下面是原始的N型矽襯底作為集電極。

方旭東調了三次微調旋鈕,把目鏡刻度尺對準那道亮線的上下邊界,讀數,計算。

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