「浸沒式的專利已經被AS和尼康佈下天羅地網，水浸折射專利。浸液控制系統專利。防汙染鏡頭塗層專利，都是新專利，我算過，如果要做浸沒式，每臺裝置要向兩家支付專利費300萬美元，佔總成本的40%。

「還有供應鏈，蔡司1。35NA鏡頭。AS奈米級浸液頭。日本荏原的超純水迴圈系統都是壟斷狀態。

「我們只能從乾式做起，收購日本二手光刻機進行逆向開發，這裡面很多專利已經過期了，屬於半公開狀態，另外0。93NA鏡頭國內已經有基礎，我們可以聯合國內公司進行研發，乾式光刻機的組裝除錯可以培養基礎光學和機械團隊，為浸沒式的研發做儲備。」

這都是她這些天好不容易蒐集到的資料。

光蒐集到這些資料，她都動用了家裡不少關係才向一些大廠打聽到。

半導體裝置這個行業真的是非常的封閉，越瞭解，就越深刻地感覺到難度，這些天她瞭解光刻機原理都花了很多時間，所以才想轉半導體專業。

她唯一的信心來源是陳學兵告訴她，可以收購。

今年把人才基礎培養好，引入資本，明年有美元，也有機會，香港講英文，很多國際人才也願意來，具備起步的天然優勢。

在一旁觀察的陳學兵看著大家都在謂難，心裡也在苦笑。

一幫人講來講去，講的都還是DUV。

還沒人提到EUV呢。

他只能點了點桌子，說道：

「我們之所以選擇進入這個行業，就是因為半導體的市場越來越大了。

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