“正好人齊了,覆盤會開始。”李建國敲了敲桌面。
陳序把書包放在腳邊,翻開筆記本。旁邊的博士生掃了眼他發白的校服袖口,又移開視線,拿起手裡的彙報稿開始念。
第一個彙報的是個戴黑框眼鏡的男生,語速很快。他講的是最近三個月的刻蝕速率測試資料,從電極功率到氣壓調節,列了十七組變數對照,最後得出的結論是速率波動在允許範圍內,不是均勻性不足的誘因。
接下來的人挨個補全排查方向。
有人講了晶圓襯底的平整度檢測,誤差控制在0.1奈米以內,完全符合標準。有人講了反應腔的清潔流程,每次實驗前都做三次等離子體清洗,不存在殘留汙染。還有人講了終點檢測系統的校準,用的是進口標準片,偏差值可以忽略。
所有人都講完的時候,己經過去了一個半小時。
長桌兩側陷入沉默。
李建國指尖叩著桌面,臉色沉得厲害。半年了,他們卡在刻蝕均勻性這關整整半年,所有能想到的變數都排查了三遍,資料全沒問題,可每次實驗出來的成品,邊緣區域的刻蝕深度總是比中心低5%,根本達不到14nm工藝的量產要求。
“還有什麼遺漏的?”他掃過全場,聲音壓得很低。
沒人說話。
所有能想到的方向都試過了,沒人知道問題出在哪。
陳序捏著筆的指尖動了動。他剛才把所有彙報的資料都記在了筆記本上,每一組引數的邏輯鏈都捋了一遍。剛才彙報介質引數的時候,有人提了一句動態校準的基準值是三個月前定的,之後沒再調整過。
他想了想,舉起了手。
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