第一臺裝置，尼康NSR-1505G g線步進光刻機。這是1986年全球解析度最高、精度最頂尖的光刻裝置，整個半導體產線的靈魂。機身重達數噸，穩穩地固定在地面上，西周連線著各種管道和線纜。王建新神識一掃，意念一動，整臺裝置憑空消失，只留下地面上一個方方正正的印記和幾截斷開的管線。

緊隨其後的是佳能FPA-1500FA縮小投影步進曝光機。兩臺堪稱行業巔峰的光刻裝置，瞬間被盡數收走。車間裡一下子空出了一大片。

王建新繼續往裡走。

一整條全自動光刻膠塗布顯影生產線出現在眼前。東京電子生產的軌道式一體化塗膠、顯影、烘焙聯機裝置，從晶圓上料、塗膠、烘烤到顯影，全流程無人操作。傳送軌道、機械臂、旋轉塗膠機、熱板、冷板，每一臺裝置都緊密銜接，配合得天衣無縫。王建新神識覆蓋上去，整條生產線連同配套的傳輸軌道、控制系統，瞬間消失。地面上只剩下一排排裸露的螺栓孔。

幹法刻蝕車間。日立M206A微波等離子單片式RIE幹法刻蝕機，全球首發的裝置，是實現晶片精密刻蝕的核心。旁邊還有東京電子批次式反應離子腐蝕刻蝕叢集，數十臺高階刻蝕裝置排列整齊，像等待檢閱計程車兵。王建新一臺不落地全部收走，連同配套的真空系統、氣體供給系統也一併收入空間。車間裡一下子空了，只剩下牆上的操作面板和地上的電纜槽。

熱工藝與摻雜區域。東京電子立式全自動高溫擴散爐，爐管還散發著餘溫。日新電子中速大束流離子注入機，體積龐大，管線複雜。高壓超純氧化生長爐，爐門緊閉，透過觀察窗能看見裡面的紅光。這些壟斷全球的摻雜與熱處理裝置，一臺臺有序地被收入空間，全程保持著裝置原本的精密狀態，沒有一絲磕碰。

薄膜沉積車間。多腔體等離子PECVD化學氣相沉積機，磁控濺射金屬鍍膜機，超高潔淨氣相外延爐。整套完整的薄膜生長與沉積裝置，支撐著晶片內部電路與薄膜結構的製造。王建新神識一掃，全部收走。

再往廠區深處走，是高階檢測與封測區域。日立、島津的超高解析度SEM掃描電鏡，晶圓全自動AOI缺陷檢測儀，高精度探針臺，全自動金絲球焊封裝生產線，切筋成型智慧裝置。從晶片檢測到封裝測試的全套高階裝置，沒有一臺被落下。王建新一路走一路收，腳步不快不慢，像是在逛商場。

出了生產區，他轉向廠區北側。

那裡是頂級半導體科研實驗室，匯聚了全日本最前沿的科研裝置。電子束首寫曝光機，X射線光刻研發樣機，超高精度晶圓引數分析儀，單晶材料研發裝置，晶片工藝研發試驗檯。儀器一臺接一臺，桌面上攤著各種圖紙和記錄本。

靠牆是一排排鐵皮櫃，裡面塞滿了核心技術圖紙、研發資料硬碟、工藝引數手冊。王建新開啟一個櫃子，隨手翻了翻，厚厚的圖紙，密密麻麻的數字，他看不懂，但知道這些東西比生產裝置更珍貴。

他把整個實驗室打包了。裝置、儀器、圖紙、硬碟、手冊，連同實驗室裡的超算中心、科研儀器，全部被席捲一空。連實驗臺上的筆記本都沒留下，筆還插在筆記本里，一起收走了。

出了實驗室，王建新又轉了幾個地方。超純水中央供給系統，管道縱橫交錯，儲水罐有幾層樓高。特種超高純電子氣體儲存輸送系統，一排排鋼瓶碼在架子上，貼著各種標籤。全廠區智慧工業匯流排中控系統，操作檯上有幾十個螢幕，顯示著各個車間的執行狀態。信越8英寸超高純單晶矽原材料倉庫，架子上碼著一摞摞晶圓盒。精密零部件備用庫房，各種型號的備件分類存放。

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